ISSN   1004-0595

CN  62-1224/O4

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氮和碳等离子体基离子注入铝合金表面氮化铝/类金刚石碳膜改性层的摩擦学特性[J]. 摩擦学学报, 2001, 21(5): 324-329.
引用本文: 氮和碳等离子体基离子注入铝合金表面氮化铝/类金刚石碳膜改性层的摩擦学特性[J]. 摩擦学学报, 2001, 21(5): 324-329.
The Tribological Properties of AlN/DLC Modifying Layer on Aluminum Alloy Implanted with Nitrogen and Carbon Plasma Based Ion Implantation[J]. TRIBOLOGY, 2001, 21(5): 324-329.
Citation: The Tribological Properties of AlN/DLC Modifying Layer on Aluminum Alloy Implanted with Nitrogen and Carbon Plasma Based Ion Implantation[J]. TRIBOLOGY, 2001, 21(5): 324-329.

氮和碳等离子体基离子注入铝合金表面氮化铝/类金刚石碳膜改性层的摩擦学特性

The Tribological Properties of AlN/DLC Modifying Layer on Aluminum Alloy Implanted with Nitrogen and Carbon Plasma Based Ion Implantation

  • 摘要: 对铝合金LY12进行等离子体基氮离子注入后再进行原位碳注入,从而在铝合金表面形成氮化铝(A1N)/类金刚石碳膜(DLC)改性层,考察了改性层的硬度及其在不同载荷下的滑动摩擦磨损特性;用X射线光电子能谱仪和小掠射角X射线衍射仪分析了A1N/DLC改性层的成分及相结构,用激光Raman光谱仪分析了表面单一碳层及磨痕的结构,结果表明:A1N/DLC改性层总厚度达800nm,最表层为厚400nm的DLC薄膜,过渡层主要由A14C3、β-C3N4、Al2O3及AlN等组成,注氮层由Al2O3和lN等组成;表面纳米硬度可达17.4GPa,比LY12的硬度高近10倍;在低载荷下,改性层的耐磨寿命与LY12合金相比提高了约20倍,摩擦系数降低了3-5倍,耐磨性提高了近170倍;随着滑动载荷的增加,其耐磨寿命和摩擦系数逐渐减小,而高的承载能力得以保持,DLC薄膜的耐磨减摩作用、过渡层及注氮层的支撑作用以及DLC薄膜在摩擦磨损过程中的石墨化作用是摩擦学性能提高的主要原因。

     

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