ISSN   1004-0595

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非平衡磁控溅射沉积MoS2-Ti复合薄膜结构与磨擦摩损性能研究[J]. 摩擦学学报, 2006, 26(2): 183-187.
引用本文: 非平衡磁控溅射沉积MoS2-Ti复合薄膜结构与磨擦摩损性能研究[J]. 摩擦学学报, 2006, 26(2): 183-187.
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Study of Structural and Tribological Properties of MoS2-Ti Composite Coatings Deposited by Unbalanced Magnetron Sputter[J]. TRIBOLOGY, 2006, 26(2): 183-187.
Citation: Study of Structural and Tribological Properties of MoS2-Ti Composite Coatings Deposited by Unbalanced Magnetron Sputter[J]. TRIBOLOGY, 2006, 26(2): 183-187.
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非平衡磁控溅射沉积MoS2-Ti复合薄膜结构与磨擦摩损性能研究

Study of Structural and Tribological Properties of MoS2-Ti Composite Coatings Deposited by Unbalanced Magnetron Sputter

    摘要
  • 摘要: 采用非平衡磁控溅射法制备出不同Ti含量的MoS2-Ti复合薄膜并对其结构进行表征,采用显微硬度仪测量MoS2-Ti复合薄膜的显微硬度,在球-盘摩擦磨损试验机上评价其在大气中的摩擦磨损性能.结果表明:不同Ti含量的MoS2-Ti复合薄膜呈岛状生长模式,断面呈致密细柱状,结晶状态均为无定形态;薄膜的显微硬度随Ti含量增加而升高;MoS2-Ti复合薄膜在大气中的摩擦磨损性能优于MoS2薄膜,掺杂适当Ti可以使MoS2-Ti复合薄膜的摩擦曲线波动减小,耐磨寿命提高,在本试验研究范围内,含30%Ti复合薄膜的耐磨寿命最长,当Ti掺杂量达到50%时MoS2-Ti复合薄膜失去润滑性能.

     

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