ISSN   1004-0595

CN  62-1224/O4

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单晶硅表面稀土复合纳米膜的制备与摩擦特性[J]. 摩擦学学报, 2009, 29(3).
引用本文: 单晶硅表面稀土复合纳米膜的制备与摩擦特性[J]. 摩擦学学报, 2009, 29(3).
shu
The Preparation and Friction Behavior of Rare-Earth Composite Film on Silicon[J]. TRIBOLOGY, 2009, 29(3).
Citation: The Preparation and Friction Behavior of Rare-Earth Composite Film on Silicon[J]. TRIBOLOGY, 2009, 29(3).
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单晶硅表面稀土复合纳米膜的制备与摩擦特性

The Preparation and Friction Behavior of Rare-Earth Composite Film on Silicon

    摘要
  • 摘要: 利用分子自组装技术,在单晶硅表面制备了稀土复合纳米自组装膜.运用原子力显微镜(AFM)观察了薄膜的表面形貌,使用X射线光电子能谱仪(XPS)分析了薄膜表面典型元素的化学状态,并运用静-动摩擦系数测定仪评价了薄膜的摩擦磨损性能.研究结果表明:通过硅烷偶联剂3-巯丙基三甲氧基硅烷(MPTS)的磺酸基化学吸附功能,稀土元素可以成功组装到氧化后的硅烷化表面.当组装稀土复合膜后,基片表面的摩擦系数由无膜时的0.8降到了0.08,表明复合膜可以降低基片的摩擦系数,并且在较低载荷下具有较好的耐磨性能.

     

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