ISSN   1004-0595

CN  62-1095/O4

高级检索
Ar~+刻蚀对MoS_2润滑膜分子结构的影响[J]. 摩擦学学报, 2001, 21(1).
引用本文: Ar~+刻蚀对MoS_2润滑膜分子结构的影响[J]. 摩擦学学报, 2001, 21(1).

Ar~+刻蚀对MoS_2润滑膜分子结构的影响

  • 摘要: 采用 Ar+ 离子溅射源进行 XPS和 AES剖面分析 ,结果发现 ,Ar+ 对 Mo S2 分子中的 S原子产生“择优”选择刻蚀并随之生成非化学计量比的 Mo Sx,Mo原子被还原 ,Mo3d结合能值向低端位移约 1.7e V.应该注意的是 ,采用 Ar+ 溅射进行 XPS剖面分析时不能确定材料表面和界面元素的化学价态 ,S/ Mo原子比同实验值之间亦存在差异 ,故应采用有关软件对实验结果进行修正 .

     

/

返回文章
返回