ISSN   1004-0595

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磁控溅射氮化钛/氮化铝纳米多层膜的抗磨性能及其在金属加工刀具中的应用研究[J]. 摩擦学学报, 2005, 25(3): 258-264.
引用本文: 磁控溅射氮化钛/氮化铝纳米多层膜的抗磨性能及其在金属加工刀具中的应用研究[J]. 摩擦学学报, 2005, 25(3): 258-264.
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Study of the Wear-Resistance and Machining Application of Magnetron Sputtered TiN/AlN Nano-Multilayer Films[J]. TRIBOLOGY, 2005, 25(3): 258-264.
Citation: Study of the Wear-Resistance and Machining Application of Magnetron Sputtered TiN/AlN Nano-Multilayer Films[J]. TRIBOLOGY, 2005, 25(3): 258-264.
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磁控溅射氮化钛/氮化铝纳米多层膜的抗磨性能及其在金属加工刀具中的应用研究

Study of the Wear-Resistance and Machining Application of Magnetron Sputtered TiN/AlN Nano-Multilayer Films

    摘要
  • 摘要: 采用新型高速反应真空磁控溅射系统制备了氮化钛/氮化铝纳米多层膜,探讨了周期(λ)对多层膜力学性能及抗磨性能的影响;在微钻针及车刀表面分别制备了上述多层膜,并分别对电路板以及中碳钢棒进行实机加工测试,以验证其实用性.结果表明:通过控制溅射参数可以制备出周期范围为2.4～67.6nm的氮化钛/氮化铝多层膜;当周期λ≤3.6nm时,相应的多层膜具有较高的硬度、良好的粘附性能及优异的抗磨性能.实机测试结果显示,所制备的多层膜可以改善金属车削和微钻削加工条件,改善程度优于单层氮化钛镀膜.

     

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