摘要: 利用电弧或电子枪蒸发源的离子镀工艺可成功地沉积碳膜。该膜具有良好的粘结性、耐磨性以及低的摩擦系数。 衍射分析表明,沉积的碳膜呈石墨状态。本文介绍镀膜工艺、膜的粘结性、摩擦磨损试验以及衍射分析等。