一种薄膜温度传感器的研制与性能试验

ISSN 1004-0595

CN 62-1224/O4

一种薄膜温度传感器的研制与性能试验[J]. 摩擦学学报, 1995, 15(4): 355-360.

引用本文:

一种薄膜温度传感器的研制与性能试验[J]. 摩擦学学报, 1995, 15(4): 355-360.

Development and performance Test of a Thin-Film Temperature TranSducer[J]. TRIBOLOGY, 1995, 15(4): 355-360.

Citation:

Development and performance Test of a Thin-Film Temperature TranSducer[J]. TRIBOLOGY, 1995, 15(4): 355-360.

Development and performance Test of a Thin-Film Temperature TranSducer

摘要: 以射频溅射法分别溅射沉积的Ａｌ２Ｏ３和ＭｇＯ复合层作为绝缘匪，以真空蒸镀的钛膜作为温度敏感膜和以溅射Ａｌ２Ｏ３膜作为保护膜，研制成功了一种宽度为１５μｍ的薄膜温度传感器。测试结果表明，复合层绝缘膜的绝缘性能明显地比Ａｌ２Ｏ３绝缘膜的好，经过同样的热处理后，前者能够保持其２０ＭΩ以上的电阻基本不变，而后者则由２０ＭΩ以上降低到１ｋΩ以下。在给定的试验条件下，这种传感器对温度及作用时间的信号响应敏感，

/