ISSN   1004-0595

CN  62-1095/O4

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利用冲蚀法评价硬质膜与底材结合强度的试验研究[J]. 摩擦学学报, 1990, 10(4).
引用本文: 利用冲蚀法评价硬质膜与底材结合强度的试验研究[J]. 摩擦学学报, 1990, 10(4).
Study on Evaluating the Bind Strength between Hard Film and Substrate by Erosion Method[J]. TRIBOLOGY, 1990, 10(4).
Citation: Study on Evaluating the Bind Strength between Hard Film and Substrate by Erosion Method[J]. TRIBOLOGY, 1990, 10(4).

利用冲蚀法评价硬质膜与底材结合强度的试验研究

Study on Evaluating the Bind Strength between Hard Film and Substrate by Erosion Method

  • 摘要: 作者利用入射速度为40m/s的80~#和100~#白刚玉砂冲击超硬质膜,测定入射粒子量与膜剥离之间的定量关系,确定造成底材开始显露所需的粒子用量(孕育剂量)和冲蚀坑中心部位的膜全部剥离时的最低粒子用量(临界剂量),并以两者之差作为判据,收到了与划痕法通过临界载荷评价膜-底材结合强度的同样效果。试验结果证明,孕育剂量与膜厚呈正变关系,因而通过它可以先求出膜厚,再求出剥离单位厚度膜层所消耗的粒子量(线冲蚀系数),并用其作为膜-底材结合强度的判据,可以扣除膜厚的影响。作者认为,冲蚀法的主要优点是设备简单、操作方便、取样面积大、代表性好,能为各类薄膜工艺提供可信的判据。

     

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