ISSN   1004-0595

CN  62-1224/O4

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单源低能离子束辅助沉积类金刚石薄膜摩擦性能的研究[J]. 摩擦学学报, 1995, 15(2): 118-125.
引用本文: 单源低能离子束辅助沉积类金刚石薄膜摩擦性能的研究[J]. 摩擦学学报, 1995, 15(2): 118-125.
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Tribological Properties of Diamond Like Carbon Film Prepared by Low Energy lon Beam Assisted Deposition with a Single lon Source[J]. TRIBOLOGY, 1995, 15(2): 118-125.
Citation: Tribological Properties of Diamond Like Carbon Film Prepared by Low Energy lon Beam Assisted Deposition with a Single lon Source[J]. TRIBOLOGY, 1995, 15(2): 118-125.
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单源低能离子束辅助沉积类金刚石薄膜摩擦性能的研究

Tribological Properties of Diamond Like Carbon Film Prepared by Low Energy lon Beam Assisted Deposition with a Single lon Source

    摘要
  • 摘要: 目前，制备类金刚石薄膜的方法很多，然而其中的多数在沉积过程中都需要基本具有比较高的温度，这不不可避免地会对耐温性较差的材料造成损伤，或使机械零部件发生变形和尺寸变化，因此，利用单源低能离子束辅助沉积法制备了非晶碳薄膜，并且利用喇曼光谱和俄歇电子能谱研究了薄膜的结构，发现了其为无定形的类金刚石薄膜，薄膜中的碳原子成键主要ｓｐ＾２杂化键，研究表明，随着离子能量和束流的增大，薄膜的显微硬度，摩擦系数和寿

     

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